電子セラミック・プロセス研究会
法人会員・関係者 各位
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令和4年4月7日
電子セラミック ・ プロセス研究会
会長 山本 孝
第186回電子セラミック・プロセス研究会プログラム
特集：圧電薄膜の材料・プロセス技術とデバイス応用
国立研究開発法人産業技術総合研究所
エレクトロニクス・製造領域 研究チーム長 小林 健 （15:30-16:10）
エレクトロニクス・製造領域 研究チーム長 小林 健 （15:30-16:10）
エレクトロニクス・製造領域 研究チーム長 小林 健 （15:30-16:10）
極薄MEMS技術により厚さ数μm程度のPZT/Si薄板をフレキシブル基板上に集積化したハプティックMEMSデバイスを開発した。ハプティックMEMSは分布的な振動刺激により空間的な触覚を表現することができる。本報告では、基盤技術である極薄MEMS技術とこれを用いたセンサデバイス及びハプティックMEMSデバイスについて紹介する。
東北大学 大学院工学研究科・工学部
ロボティクス専攻 特任准教授 吉田 慎哉 （16:10-16:50）
ロボティクス専攻 特任准教授 吉田 慎哉 （16:10-16:50）
ロボティクス専攻 特任准教授 吉田 慎哉 （16:10-16:50）
圧電MEMS（微小電気機械システム）デバイスの性能は、搭載される圧電薄膜の性能によって決まるが、近年その性能の向上化は頭打ちになってきている。それはすなわち、デバイスの性能限界に直面していることを意味する。そこで我々は、圧電エピタキシャル薄膜の持つユニークな特性に着目し、その特性を活かしたデバイスを研究開発している。本講演では、これまでに得られた知見や成果について報告する。
第186回担当幹事：張替 貴聖（パナソニック（株））
harigai.takakiyo@jp.panasonic.com
harigai.takakiyo@jp.panasonic.com
オンライン担当 ： info-ecpm@elecera.org
ホームページ ： http://elecerapm.com/