次世代のパワー半導体材料としてGa2O3、GaNが注目されている。液体Gaターゲットを用いたスパッタ法により薄膜を形成する技術の開発を行っている。酸素ガスを用いてGa2O3、窒素ガスを用いてGaNを成膜可能で、装置や成膜条件の最適化によりGaN膜、β-Ga2O3、ε-Ga2O3、γ-Ga2O3を得ることに成功した。今後、さらにその応用範囲を拡大する研究を考えている。

　フラックス法は溶液からの結晶育成手法の一種であり，目的物質を溶媒に溶解して結晶を育成する。目的物質をその融点よりもはるかに低い温度で育成できることを特長のひとつとし，環境調和型プロセスと言われる。当研究室では，環境・エネルギー分野を中心とし，きわめて多岐にわたる結晶粒子や結晶層を育成してきた。最近では，データ駆動・AI とロボットを組み合わせたハイスループットフラックス法に取り組んでいる。本講演では，環境・エネルギー分野の結晶材料を例示し，フラックス結晶育成の最前線を概説する。クロ世界ならではの物理、最新技術、市場動向などを具体例をもって説明する。

　ガーネット型酸化物Li7La3Zr2O12（LLZ）は、室温で10-3S/cm の高いLi イオン伝導性を示し、金属Li に対して化学的に安定であるため、全固体Li イオン電池用固体電解質として活発に研究が進められてきた。しかし、緻密化のために高温での焼結が必須となるため、各種電池材料部材とLLZ を一括焼結した全固体電池化の研究は十分に進んでいない。本講演では、我々のグループによる最近の研究例を取り上げ、(1) 易焼結性LLZ の開発とその合成プロセス、(2) 電池作製技術、 (3) 全固体Li 金属電池への応用について紹介したい。