電子セラミック・プロセス研究会
法人会員・関係者 各位
法人会員・関係者 各位
令和6年10月29日
電子セラミック ・ プロセス研究会
会長 中平 敦
第203回電子セラミック・プロセス研究会プログラム
特集テーマ：MEMS電子デバイス技術の最新動向
－MEMS*デバイスのプロセス技術と最新デバイス技術－
* Micro Electro Mechanical Systems 微小電気機械システム
イントロダクション （15:00-15:05）
東北大学 大学院工学研究科 ﾛﾎﾞﾃｨｯｸｽ専攻 ﾅﾉｼｽﾃﾑ講座 田中 秀治（15:05-16:00）
慣性センサー、BAW（BulkAcousticWave）フィルター、マイクロフォン、気圧センサーなど、身のまわりには多数のMEMSが使われており、これからも増えていく。また、あまり知られていないが、半導体製造装置やデーターセンターの基幹部品としてもMEMSが使われている。これらのMEMSがどのような技術進化をとげているか、また、どのように応用領域を広げているか、教科書には載っていない最新動向を解説する。その中でMEMSの技術的ポイント、マイクロ世界ならではの物理、最新技術、市場動向などを具体例をもって説明する。
休 憩 （16:00-16:05）
豊橋技術科学大学 電気・電子情報工学系 集積化ﾊﾞｲｵｾﾝｻ・MEMSｸﾞﾙｰﾌﾟ 澤田 和明（16:05-17:00）
～豊橋技術科学大学LSI・MEMS研究施設とセンサ・MEMS研究の紹介～」
Society5.0社会の実現には、多種多様なセンサをフィジカル空間に配置する必要があります。しかしながら様々な種類のセンサを多数配置するのは価格的、空間的な制約から現実的ではありません。本学で開発したワンチップで多種多様なセンシングが可能なマルチモーダルセンサは、センサ技術と半導体集積回路技術が融合することにより、この課題を解決できるセンサであると考えています。本講演では、世界的にも稀有な豊橋技術科学大学集積回路センサ・MEMS研究設備の紹介と、マルチモーダルセンサ開発と社会実装の取り組みを紹介します。
第203回担当幹事：齋藤 康善（（株）豊田中央研究所）
オンライン担当 ： info-ecpm@elecera.org
ホームページ ： http://elecerapm.com/